[发明专利]向有机发光二极管沉积钝化层的直列式原子层沉积设备

摘要

本发明涉及一种向OLED基板沉积钝化层的直列式原子层沉积设备，其中当OLED基板在相互平行地设置着多个线源的真空室中以直线方式水平移动时，执行沉积过程，以允许无极薄膜作为钝化层被沉积在速度大于3nm/min的每个OLED基板上。直列式原子层沉积设备包括适于在其中形成真空状态的真空室；水平方向上的基板移动件，其被设置在真空室的下侧用于将OLED基板从真空室的一侧水平移动到真空室的另一侧；原子层沉积件，其设置在真空室的上侧，用于借助于原子层沉积向正在被基板移动件水平移动的OLED基板沉积钝化层。

主权项

一种向OLED基板沉积钝化层的直列式原子层沉积设备，所述设备包括：适于在其中形成真空状态的真空室；水平方向上的基板移动件，其被设置在真空室的下侧用于将OLED基板从真空室的一侧水平移动到真空室的另一侧；和原子层沉积件，其设置在真空室的上侧，用于借助于原子层沉积向正在被基板移动件水平移动的OLED基板沉积钝化层。