[发明专利]用连接等离子体处理系统的端部执行器自动更换消耗部件

摘要

本发明涉及用连接等离子体处理系统的端部执行器自动更换消耗部件。群集工具组件包括真空传送模块，具有连接到真空传送模块的第一侧的处理模块。隔离阀具有第一和第二侧，隔离阀的第一侧耦合到处理模块的第二侧。更换站耦合到隔离阀的第二侧。更换站包括更换操作器和部件缓冲区。部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室。处理模块包括升降机构，以使安装在处理模块中的消耗部件放置到升高位置。升高位置使更换操作器能访问，以使消耗部件能从处理模块移除并存储在部件缓冲区的隔室。更换操作器被配置为使消耗部件的更换件从部件缓冲区回到处理模块。在处理模块和更换站被保持在真空状态下时，由更换操作器和处理模块进行更换。

主权项

一种能连接到机械手的端部执行器机构，其包含：腕状板；连接到所述腕状板的安装臂架，所述安装臂架具有顶板和底板；被夹持在所述安装臂架的所述顶板和所述底板之间的指状物组件，所述指状物组件包括从所述安装臂架向外延伸的成对的指状物，所述指状物组件具有邻近所述安装臂架的近端以及在所述成对的指状物的前端处的远端；以及第一成对的消耗品接触垫，其被设置在所述指状物组件的顶表面上并定位于所述指状物组件的所述近端；第二成对的消耗品接触垫，其被设置在所述指状物组件的所述顶表面上并定位于所述指状物组件的所述远端；第三成对的衬底接触垫，其被设置在所述指状物组件的所述顶表面上，邻近于所述第一成对的消耗品接触垫并在所述第一成对的消耗品接触垫和所述第二成对的消耗品接触垫之间；以及第四成对的衬底接触垫，其被设置在所述指状物组件的所述顶表面上，邻近于所述第二成对的消耗品接触垫并在所述第一成对的消耗品接触垫和所述第二成对的消耗品接触垫之间，其中所述指状物组件被配置成使用所述第一成对的消耗品接触垫和所述第二成对的消耗品接触垫运送消耗部件以及使用所述第三成对的衬底接触垫和所述第四成对的衬底接触垫运送衬底。