[发明专利]一种双脉冲碰撞等离子体极紫外光刻光源产生装置

摘要

本发明公开了一种双脉冲碰撞等离子体极紫外光刻光源产生装置，包括激光器光源、真空靶室，激光器光源包括驱动光源CO2激光器光源和辅助光源Nd:YAG激光器光源，真空靶室内两个聚焦透镜成角度设置在靶系统的外侧；Nd:YAG激光器与其对应的聚焦透镜之间设置有半波片、偏振片和楔形棱镜，CO2激光器与其对应的聚焦透镜之间设置有准直透镜、镀金硅镜面和ZnSe镜片；Nd:YAG激光器光源经楔形棱镜分裂成两束后，照射靶系统产生两个等离子体，与CO2激光器光源照射靶系统作用产生碰撞等离子体。设置驱动光源和辅助光源结合产生碰撞等离子体，显著提高了EUV光源的效率，固体靶和液体靶相结合，具有成本低、效率高的特点，适于推广应用。

主权项

1.一种双脉冲碰撞等离子体极紫外光刻光源产生装置，包括激光器光源、真空靶室及位于真空靶室内的靶系统和聚焦透镜，其特征在于：所述激光器光源包括驱动光源和辅助光源，驱动光源由CO2激光器（7）产生，辅助光源由用于产生等离子体的Nd:YAG激光器（1）产生；所述真空靶室（11）内靶系统（6）设置在中心位置，两个光源入射聚焦透镜（5）成角度设置在靶系统（6）的外侧；所述Nd:YAG激光器（1）与其光源对应入射的聚焦透镜（5）之间设置有楔形棱镜（4），Nd:YAG激光器（1）光源经楔形棱镜（4）分裂成两束后，照射靶系统（6）产生两个等离子体，与CO2激光器（7）光源照射靶系统（6）作用产生碰撞等离子体，进而辐射产生EUV光被收集，两束激光器的脉冲产生时间则由信号发生器（17）和延迟发生器控制。