[发明专利]一种照明装置有效
| 申请号： | 201610932743.1 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN108020994B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 田毅强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种照明装置，包括：沿光传播方向设置的LED光能发生单元、光束积分匀光单元和光束中继传递单元；其中，所述LED光能发生单元包括多组LED光源组件和汇聚镜组，所述多组LED光源组件沿光轴旋转对称分布，且每组所述LED光源组件均可沿所述光轴径向移动，所述汇聚镜组的物面位于所述LED光源组件的出光端。本发明通过设置多组LED光源组件，可耦合多种波长的光源，直接形成离轴照明模式；相对于传统的多波长汞灯方案，本发明结构更加紧凑，能量利用率高，能耗较低；所述LED光源组件可沿所述光轴径向移动，实现对照明的相干因子的调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照明 装置 | ||
【主权项】：
1.一种照明装置，其特征在于，包括：沿光传播方向设置的LED光能发生单元、光束积分匀光单元和光束中继传递单元；其中，所述LED光能发生单元包括多组LED光源组件和汇聚镜组，多组所述LED光源组件沿光轴旋转对称分布，且每组所述LED光源组件均可沿所述光轴径向移动，所述汇聚镜组的物面位于所述LED光源组件的出光端，所述LED光源组件沿所述光轴径向移动以及所述LED光源组件发出的光束经过所述光束积分匀光单元均使得照明的相干因子得到改变；多组所述LED光源组件发出的光束波长相同或不同，当多组所述LED光源组件发出的光束波长不同时，所述汇聚镜组使得不同波长的光束耦合在一起；且所述LED光源组件在照明系统的光瞳面上形成可改变相干因子的多极照明，所述汇聚镜组将所述多极照明汇聚到所述光束积分匀光单元以形成均匀照明视场，并通过所述光束中继传递单元将所述均匀照明视场放大后形成均匀性满足要求的多波长的多极照明视场。/n
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