[发明专利]一种碱溶性树脂聚合物、其制备方法和感光性树脂组合物

摘要

本公开涉及一种碱溶性树脂聚合物、其制备方法和感光性树脂组合物，该碱溶性树脂聚合物为含有第一结构单元和第二结构单元的共聚物。本公开通过在聚合物结构中引入具有含氮六元环的第一结构单元，其水溶性较好，提高了该聚合物的显影性能；同时该含氮六元环还有助于提高与基板的附着力，提高了像素线幅；含氮六元环中的氮自由基可以抑制氧引起的阻聚反应，可以延长光聚合过程中自由基的寿命，从而提高聚合效率和单体的转化率，在显影过程中膜流失少，残膜率增加，固化后形成的网状结构更加密实；含有该第一结构单元的聚合物耐热性好，可有效避免热烘烤过程带来的色差，由该聚合物组成的感光性树脂组合物具有好的贮存稳定性。

主权项

1.一种碱溶性树脂聚合物，其特征在于，该碱溶性树脂聚合物为含有第一结构单元和第二结构单元的共聚物；所述第一结构单元具有式(1)所示的结构：其中，R1为氢原子、碳原子数为1-5的直链烷基、碳原子数为3-5的支链烷基或碳原子数为3-5的环烷基，R2为单键、碳原子数为1-5的直链亚烷基或碳原子数为3-5的支链亚烷基，X为氧原子、氮原子或硫原子，n为1-5的整数；所述第二结构单元衍生自第二单体，所述第二单体为选自不饱和羧酸化合物、不饱和酸酐化合物和不饱和羧酸衍生物中的至少一种；所述碱溶性树脂聚合物的重均分子量Mw为5000-50000，所述第一结构单元和所述第二结构单元的摩尔含量之比为1：(0.3-3.3)。