[发明专利]一种二氧化钒复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610935366.7 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN108018532B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 金平实;龙世伟;包山虎;曹逊;周怀娟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二氧化钒复合薄膜及其制备方法，包括基板、依次形成于所述基板表面的第一保护增透层、二氧化钒调光层和第二保护增透层，所述第一保护增透层或/和第二保护增透层的化学式为WO3‑x（0＜x＜0.9）或MyWO3（0＜y≤1），M为Cs、Rb、K、Na、Li、Be、Mg、Ca、Sr和Ba中的至少一种。本发明选用WO3‑x或MyWO3，作为位于所述二氧化钒调光层两侧的第一保护增透层和第二保护增透层。其中WO3‑x或MyWO3，其光学常数n与二氧化钒薄膜匹配，n=2.0‑2.4，可以达到光学设计调光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化钒复合薄膜，其特征在于，包括基板、依次形成于所述基板表面的第一保护增透层、二氧化钒调光层和第二保护增透层，所述第一保护增透层或/和第二保护增透层的化学式为WO3-x，其中0＜x＜0.9或MyWO3，其中0＜y≤1，M为Cs、Rb、K、Na、Li、Be、Mg、Ca、Sr和Ba中的至少一种；所述第一保护增透层的厚度为20～300 nm；所述第二保护增透层的厚度为20～300 nm；所述二氧化钒调光层的厚度为20～100nm。/n
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