[发明专利]一种标准单元的版图结构及电子装置在审

专利信息
申请号: 201610938722.0 申请日: 2016-10-24
公开(公告)号: CN107978598A 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 黄晨;王剑屏 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京市磐华律师事务所11336 代理人: 高伟,冯永贞
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种标准单元的版图结构及电子装置。所述版图结构包括沿第一方向彼此并排设置的第一晶体管区域和第二晶体管区域以及设置于所述第一晶体管区域和所述第二晶体管区域之间的虚拟图形区域;所述第一晶体管区域和所述第二晶体管区域内分别设置有沿第一方向延伸的第一有源区和第二有源区,以及分别沿第二方向延伸的第一栅极结构和第二栅极结构,所述虚拟栅极图形区域内设置有沿第二方向延伸的虚拟栅极结构;所述虚拟栅极结构包括与所述第一有源区和所述第二有源区对应设置的凸起区域或凹陷区域。本发明在所述版图结构中通过改变所述虚拟图案的形状,来增加所述功能区域的尺寸,以使尺寸逐渐变小的器件具有更好的均一性,进一步提高良率。
搜索关键词: 一种 标准 单元 版图 结构 电子 装置
【主权项】:
一种标准单元的版图结构,其特征在于,所述版图结构包括:沿第一方向彼此并排设置的第一晶体管区域和第二晶体管区域以及设置于所述第一晶体管区域和所述第二晶体管区域之间的虚拟图形区域;所述第一晶体管区域和所述第二晶体管区域内分别设置有沿第一方向延伸的第一有源区和第二有源区,以及分别沿第二方向延伸的第一栅极结构和第二栅极结构,所述虚拟栅极图形区域内设置有沿第二方向延伸的虚拟栅极结构;所述虚拟栅极结构包括与所述第一有源区和所述第二有源区对应设置的凸起区域或凹陷区域。
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