[发明专利]多密封系统漏率测量方法和装置

摘要

本发明公开了一种多密封系统总漏率测试的测量系统，主要包括标准漏率装置、多种示漏气体气源、真空容器、抽气单元、取样单元、四极质谱分析单元和数据处理单元，其中，将待测组件放入容器内，抽真空得到特征峰对应的离子流大小，作为本底值；再依次分别引入不同示漏气体的标准漏率，得到不同标准漏率对应的离子流大小；向待测组件充入不同的示漏气体，经质谱分析，得到泄漏后反应出来的实际离子流大小；根据标准漏率和离子流的比值，得到实际漏率值。本发明可以准确检测多个独立密封系统的总漏率，克服了过去氦质谱检漏中，每次只能检测一个独立密封系统的缺陷，节省了人力，缩短了检漏时间。

主权项

多密封系统总漏率测试的测量系统，主要包括标准漏率装置、多种示漏气体气源、真空容器、抽气单元、取样单元、四极质谱分析单元和数据处理单元，所述标准漏率装置包括标准漏孔组，多种示漏气体气源通过标准漏孔组与真空容器连通，真空泵对标准漏孔组的前后端进行抽气，气源通过自动调压阀与标准漏孔组连通并将标准漏孔组前的压力稳定在一定数值，标准漏孔组与真空容器之间通过阀门进行连接，所述真空容器连接有抽气单元，抽气单元包括粗抽机组、分子泵高真空系统，粗抽机组与真空容器通过阀门直接连接，分子泵高真空系统与真空容器也通过阀门直接连接，分子泵采用了罗茨泵机组为前级，真空容器通过取样单元和四极质谱分析单元相连通，四极质谱分析单元与数据处理单元电连接，其中，将航天器测试组件放入真空容器内，对容器抽真空得到不同质量数气体的特征峰对应的离子流大小，作为本底值；再向真空容器依次分别引入不同示漏气体的标准漏率，得到不同示漏气体标准漏率对应的离子流大小，关闭标准漏孔；向航天器测试组件不同的被检密封系统内充入不同的示漏气体，系统稳定后，通过质谱分析，得到各个不同密封系统泄漏后反应出来的实际离子流大小；根据标准漏率和对应的离子流的比值，得到不同密封系统的实际漏率值。