[发明专利]一种抑制激光光斑杂讯提升稳定性的三维形貌扫描系统

摘要

一种抑制激光光斑杂讯提升稳定性的三维形貌扫描系统，包含线光源、旋转镜与影像撷取装置。线光源提供线光束。旋转镜将线光束反射至待测面，以于待测面上形成照射区域。旋转镜旋转使得照射区域摆动，且不同时刻的照射区域互相重叠，借此达到模糊光斑的效果。影像撷取装置用以撷取待测面上的照射区域的影像计算出立体形貌。三维形貌扫描系统因线光束于待测面上形成的照射区域会随着时间摆动，且不同时刻的照射区域互相重叠，因此即使线光束会在待测面上形成光斑，光斑亦会因摆动的照射区域而模糊化。

主权项

1.一种三维形貌扫描系统，其特征在于，包含：一线光源，提供一线光束；一旋转镜，将该线光束反射至一待测面，以于该待测面上形成一照射区域，其中该旋转镜旋转使得该照射区域摆动，且不同时刻的所述照射区域形成一重叠区域，且所述照射区域部分地位于所述重叠区域之外；以及一影像撷取装置，用以撷取该待测面上的该照射区域的影像。