[发明专利]物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体有效
| 申请号： | 201610947746.2 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106969760B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 石井昌宏;山口啓一;菊池尊行 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5649 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体。振动片(1)具有：检测臂(221)，其沿着Z轴方向进行驱动振动，且通过被施加角速度而沿着X轴方向进行检测振动；第一电极部(331)、第二电极部(332)、第三电极部(341)、第四电极部(342)以及第一接地电极部(351)、第二接地电极部(352)、第三接地电极部(353)、第四接地电极部(354)，它们被配置在检测臂(221)上。并且，第一电极部(331)与第一接地电极部(351)之间所产生的信号和第二电极部(332)与第二接地电极部(352)之间所产生的信号在驱动振动时为反相，在检测振动时为同相。此外，第三电极部(341)与第三接地电极部(353)之间所产生的信号和第四电极部(342)与第四接地电极部(354)之间所产生的信号在驱动振动时为反相，在检测振动时为同相。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 检测 振动 装置 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量检测振动片，其特征在于，具有：检测臂，其包括压电体，并沿着第一方向进行驱动振动，且通过被施加物理量而沿着与所述第一方向正交的第二方向进行检测振动；第一检测信号电极、第二检测信号电极以及基准电位电极，其被配置在所述检测臂上，所述第一检测信号电极具有第一电极部和第二电极部，所述第二检测信号电极具有第三电极部和第四电极部，所述基准电位电极具有：相对于所述第一电极部而成为基准电位的第一基准电位电极部；相对于所述第二电极部而成为基准电位的第二基准电位电极部；相对于所述第三电极部而成为基准电位的第三基准电位电极部；相对于所述第四电极部而成为基准电位的第四基准电位电极部，所述第一电极部与所述第一基准电位电极部之间所产生的信号和所述第二电极部与所述第二基准电位电极部之间所产生的信号在所述驱动振动时为反相，在所述检测振动时为同相，所述第三电极部与所述第三基准电位电极部之间所产生的信号和所述第四电极部与所述第四基准电位电极部之间所产生的信号在所述驱动振动时为反相，在所述检测振动时为同相。
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