[发明专利]压电元件、压电模块、电子设备以及压电元件的制造方法有效
申请号: | 201610949882.5 | 申请日: | 2016-10-26 |
公开(公告)号: | CN107039577B | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 宫泽弘;伊藤浩;中村友亮;山田昌佳;山崎清夏;舩坂司 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/047 | 分类号: | H01L41/047;H01L41/29;H01L41/297;B06B1/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种具有高压电特性的压电体的压电元件、压电模块、电子设备以及压电元件的制造方法。接收用换能器(52)具备:挠性部(412D);压电膜(423),设置于挠性部(412D);第一电极(422),设置于挠性部(412D)的设置有压电膜(423)一侧的第一面(412B1)和压电膜(423)的与挠性部(412D)相反一侧的面的第二面(423A)之间;以及第二电极(424),设置于第一面(412B1)和第二面(423A)之间,在从挠性部(412D)的厚度方向观察的俯视下,与第一电极(422)隔着间隙相对。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 模块 电子设备 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,所述压电元件具备:挠性膜;压电体,设置于所述挠性膜;第一电极,设置于所述挠性膜的设置有所述压电体一侧的第一面和所述压电体的与所述挠性膜相反一侧的第二面之间;以及第二电极,设置于所述第一面和所述第二面之间,在从所述挠性膜的厚度方向观察的俯视下,与所述第一电极隔着第一间隙相对。
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