[发明专利]旋转装置

摘要

提供旋转装置，其具有：保持机构，其使3个保持爪(311)与晶片外周接触并对晶片进行保持；自旋旋转机构(4)，其具有使保持机构(3)以旋转轴(40a)为轴而旋转的旋转驱动部；和判断单元(5)，其对晶片中心是否与旋转轴的轴心一致进行判断，保持机构具有输出部(36a～36c)，它们进行根据保持爪的位置的输出，判断单元具有：存储部(50a～50c)，它们对当3个保持爪所保持的晶片的中心与旋转轴的轴心一致时的来自与各个保持爪对应的输出部的各个输出值进行存储；和判断部(51)，其根据旋转轴以规定的角度进行了旋转时的各个输出值是否与存储部所存储的3个保持爪的输出值(D1a～D1c)一致来判断晶片的偏移。

主权项

一种旋转装置，该旋转装置具有保持机构以及自旋旋转机构，其中，该保持机构使至少3个保持爪与晶片的外周接触而对晶片进行保持，该自旋旋转机构具有旋转驱动部，该旋转驱动部使该保持机构以自旋旋转轴为轴而旋转，其中，该旋转装置具有判断单元，该判断单元对晶片的中心是否与该自旋旋转轴的轴心一致进行判断，该保持机构具有输出部，该输出部进行根据保持爪的位置的输出，该判断单元具有：存储部，其对当至少3个保持爪所保持的晶片的中心与该自旋旋转轴的轴心一致时的来自与各个该保持爪对应的各个输出部的输出值进行存储；以及判断部，其根据该自旋旋转轴以规定的角度进行了旋转时的该输出部的输出值是否与该存储部所存储的保持爪的输出值一致来判断晶片的偏移。