[发明专利]一种日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置及方法有效
申请号: | 201610953657.9 | 申请日: | 2016-11-03 |
公开(公告)号: | CN106500967B | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 韦永林;赛小锋;田进寿;卢裕;王兴;徐向晏;刘虎林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 杨引雪 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种色差小、球差小、加工简单、易装调、结构紧凑、操作简单的日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置,解决了现有装置球差较大,非球面镜加工、检验比较困难,系统装调难度较大的问题。测试装置包括依次设置的紫外光源、毛玻璃片、分辨率测试靶、第一平行光管、紫外窄带滤光片、光阑、第二平行光管、日盲紫外像增强器、显微镜,还包括管状壳体、支座、导轨和多维调节架;显微镜和日盲紫外像增强器设置于多维调节架上,多维调节架设置于支座上,支座设置于导轨上,用于支撑多维调节架、紫外光源的支座在导轨轴向移动。本发明主要用于日盲紫外像增强器的空间分辨率测试,同时还可以用于紫外条纹变像管等光电器件的空间分辨率测试。 | ||
搜索关键词: | 日盲紫外像增强器 空间分辨率 多维调节架 测试装置 平行光管 紫外光源 导轨 球差 装调 显微镜 色差 分辨率测试 窄带滤光片 测试 多维调节 非球面镜 管状壳体 光电器件 毛玻璃片 现有装置 依次设置 支座设置 变像管 导轨轴 条纹 光阑 加工 架设 移动 支撑 检验 | ||
【主权项】:
1.一种日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置,其特征在于:包括依次设置的紫外光源、毛玻璃片、分辨率测试靶、第一平行光管、紫外窄带滤光片、通光孔径从0.5mm‑10mm可调的光阑和第二平行光管,还包括管状壳体、显微镜、支座、导轨和多维调节架;所述显微镜和日盲紫外像增强器设置于多维调节架上;所述多维调节架、紫外光源和管状壳体设置在支座上,所述支座设置在导轨上,用于支撑多维调节架和紫外光源的支座在导轨上轴向移动;所述第一平行光管、第二平行光管和管状壳体构成光学成像系统,所述第一平行光管、第二平行光管设置在管状壳体中,所述紫外窄带滤光片和光阑插入管状壳体中,光学成像系统成像放大率为1:1,所述第一平行光管包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜,所述第二平行光管包括依次设置的第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜,所述第一透镜、第二透镜、第四透镜、第五透镜、第七透镜、第八透镜是由CaF2制成的正透镜,所述第三透镜和第六透镜是由石英制成的凹透镜。
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