[发明专利]一种梯度结构类金刚石薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610955123.X | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106521493B | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 彭继华;苏东艺;梁献文 | 申请（专利权）人： | 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 刘晔 |
| 地址： | 510530 广东省广州市经济技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及金属表面处理，特别是涉及滑动构件及轴承等铁基合金的低温模具表面处理，提供一种梯度结构类金刚石薄膜及其制备方法。本发明梯度结构类金刚石薄膜具有“纯金属层、第一梯度过渡层、金属氮化物层、第二梯度过渡层、碳化钨层、第三梯度过渡层以及表面层”的涂层结构；所述表面层为类金刚石层或含硅类金刚石层，本发明提供的类金刚石膜自在各层之间通过成分梯度控制，获得弹性模量和硬度的梯度控制，从而极大提高涂层的膜基结合力和抗分层剥落能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梯度 结构 金刚石 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种梯度结构类金刚石薄膜，其特征在于，所述类金刚石薄膜由下至上包括纯金属层、第一梯度过渡层、金属氮化物层、第二梯度过渡层、碳化钨层、第三梯度过渡层以及表面层，所述第一梯度过渡层是以从所述纯金属层侧朝向所述金属氮化物层侧连续地使该第一梯度过渡层中氮的含有率变高的方式形成的层，所述第二梯度过渡层是以从所述金属氮化物层侧朝向所述碳化钨层侧连续地使该第二梯度过渡层中氮的含有率变小且使该第二梯度过渡层中碳化钨的含有率变高的方式形成的层，所述第三梯度过渡层是以从所述碳化钨层侧朝向所述表面层侧连续地使该第三梯度过渡层中的所述碳化钨的含有率变小且使该第三梯度过渡层中碳的含有率变高的方式形成的层，所述表面层为类金刚石层或含硅类金刚石层。
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