[发明专利]可溯源的在片高值电阻测量系统及其溯源方法

摘要

本发明公开了一种可溯源的在片高值电阻测量系统，属于测试和测量技术领域。可溯源的在片高值电阻测量系统包括高值电阻测量仪器、探针系统，高值电阻测量仪器和探针系统通过线缆连接，探针系统包括探针一组和探针二组，所述高值电阻测量仪器与探针一组连接或与探针二组连接。其溯源方法为，高值电阻测量仪器通过线缆与探针一组连接，标准高值电阻通过线缆与探针二组连接；在片直通对接线连接探针一组和探针二组。本发明的测量系统能够提供可溯源的在片高值电阻参数测试数据，使得在片高值电阻测试数据的准确性可验证，不同系统的测试数据之间可比较。其溯源方法可以实现参数溯源并提供关于测试数据的不确定度信息。

主权项

1.一种可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法，其特征在于，所述可溯源的在片高值电阻测量系统包括高值电阻测量仪器、探针系统，高值电阻测量仪器和探针系统通过线缆连接，所述探针系统包括探针一组和探针二组，所述高值电阻测量仪器与探针一组连接或与探针二组连接；所述高值电阻测量仪器通过线缆与探针一组连接，标准高值电阻通过线缆与探针二组连接；或者是，所述高值电阻测量仪器与探针二组连接，标准高值电阻与探针一组连接；在片直通对接线连接探针一组和探针二组；对可溯源的在片高值电阻测量系统进行不确定度评价，测量的不确定度分解为以下2项：(1)未修正的系统误差对应的不确定度u1；(2)随机误差对应的不确定度u2；u1进一步分解为高值电阻测量仪器的系统误差对应的不确定度u11，对应于R处，以及线缆及探针的系统误差对应的不确定度u12，对应于R‑A间；u11直接采用其说明书技术指标Rspec，按照均匀分布处理来确定，即对于不确定度u12，则将R‑A间的测量回路扩展为R‑B间测量回路，该测量回路包括探针一组及线缆、在片直通对接线、探针二组及线缆、标准高值电阻，然后评估R‑B间测量回路引入的系统误差上限，按照均匀分布处理，作为u12的估计值；不确定度具体操作步骤如下：首先使用高值电阻测量仪器直接测量标准高值电阻，对应于R处，重复若干次取平均值Rr；然后测量B处的标准高值电阻，重复若干次取平均值Rx；|Rr‑Rx|作为系统误差上限，即对于u2，多次测量被测，并取数据的实验标准差S作为的u2估计值，即u2＝S                 (2)合成为标准不确定度：取扩展系数k＝2，扩展不确定度：U即测量结果的不确定度。