[发明专利]宽带光谱光学测量装置及等离子体处理装置

摘要

本发明公开了一种宽带光谱光学测量装置，包含：宽带光源，用于发射具有不同波长的入射光；抛物面反射镜，用于对入射光进行准直，形成若干束平行光，通过光学窗口入射到晶圆的表面；反射光接收组件，用于接收晶圆表面反射的光；半透半反镜，位于抛物面反射镜之后、反射光接收组件之前，若干束平行光经过半透半反镜的透射后再经光学窗口入射到晶圆的表面，晶圆表面反射的光经光学窗口后再经半透半反镜的反射后被反射光接收组件接收；控制组件，与反射光接收组件电连接，用于根据晶圆表面反射的光，确定晶圆刻蚀的终点。本发明还公开了一种等离子体处理装置。本发明能够对宽带光谱进行准直，有效提高IEP检测法中对宽带光源的准直和光通量的利用率。

主权项

一种宽带光谱光学测量装置，其特征在于，设置在等离子体反应腔外部，该宽带光谱光学测量装置包含：宽带光源，用于发射具有不同波长的入射光；抛物面反射镜，用于对入射光进行准直，形成若干束平行光，通过等离子体反应腔顶部的光学窗口入射到晶圆的表面；反射光接收组件，用于接收晶圆表面反射的光；半透半反镜，位于所述的抛物面反射镜之后、反射光接收组件之前，若干束平行光经过半透半反镜的透射后再经光学窗口入射到晶圆的表面，晶圆表面反射的光经光学窗口后再经半透半反镜的反射后被反射光接收组件接收；控制组件，与所述的反射光接收组件电连接，用于根据反射光接收组件接收的晶圆表面反射的光，确定晶圆刻蚀的终点。