[发明专利]一种可变双焦点激光微加工装置在审
| 申请号： | 201610957567.7 | 申请日： | 2016-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN106964894A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 施心星 | 申请（专利权）人： | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/064 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可变双焦点激光微加工装置，所述的第一激光器位于第二激光器的正上方，第一激光器的右侧安装有第一关闸，第一关闸右侧安装有第一反射镜，第一半波片安装在第一反射镜的正下方，缩束镜安装在第一半波片的正下方，第二反射镜安装在缩束镜的正下方，偏振分光合光镜安装在第二反射镜的左侧，第二关闸安装在第二激光器的右侧，第二关闸右侧安装有第三反射镜，第二半波片安装在第三反射镜下方，第四反射镜安装在偏振分光合光镜左侧，聚焦镜安装在第四反射镜的下方，保护镜安装在聚焦镜的下方，第一焦点和第二焦点都位于保护镜的下方。本发明结构简单，成本低廉，双焦点可调性强，加工效果更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可变 焦点 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种可变双焦点激光微加工装置，其特征在于：包括第一激光器(1)、第二激光器(2)、第一关闸(3)、第一反射镜(4)、第一半波片(5)、缩束镜(6)、第二反射镜(7)、偏振分光合光镜(8)、第二半波片(9)、第三反射镜(10)、第二关闸(11)、第四反射镜(12)、聚焦镜(13)、保护镜(14)、第一焦点(15)和第二焦点(16)，所述的第一激光器(1)和第二激光器(2)输出光为水平偏振光，所述的第一激光器(1)位于第二激光器(2)的正上方，所述的第一激光器(1)的右侧安装有第一关闸(3)，所述的第一关闸(3)右侧安装有第一反射镜(4)，所述的第一反射镜(4)与第一激光器(1)输出光成45°夹角且第一反射镜(4)的反射光垂直向下，所述的第一半波片(5)安装在第一反射镜(4)的正下方，所述的缩束镜(6)安装在第一半波片(5)的正下方，所述的第二反射镜(7)安装在缩束镜(6)的正下方，所述的第二反射镜(7)与第一反射镜(4)的反射光成45°夹角且第二反射镜(7)的反射光水平向左，所述的偏振分光合光镜(8)安装在第二反射镜(7)的左侧，所述的第二关闸(11)安装在第二激光器(2)的右侧，所述的第二关闸(11)右侧安装有第三反射镜(10)，所述的第三反射镜(10)与第三反射镜(10)输出光成45°夹角且第三反射镜(10)的反射光垂直向下，所述的第二半波片(9)安装在第三反射镜(10)下方且第二半波片(9)位于偏振分光合光镜(8)的上方，所述的第四反射镜(12)安装在偏振分光合光镜(8)左侧，所述的第四反射镜(12)与第二反射镜(7)的反射光成45°夹角且第四反射镜(12)的反射光垂直向下，所述的聚焦镜(13)安装在第四反射镜(12)的下方，所述的保护镜(14)安装在聚焦镜(13)的下方，所述的第一焦点(15)和第二焦点(16)都位于保护镜(14)的下方且第一焦点(15)位于第二焦点(16)的上方。
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