[发明专利]流率测量型粘性液体施配器和施配方法在审
| 申请号： | 201610957907.6 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107017183A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 洪承珉 | 申请（专利权）人： | 普罗科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨文娟,臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道安养市东*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种流率测量型粘性液体施配器和施配方法，其中，流率测量型粘性液体施配器包括注射器，用于存储待施配的粘性液体；泵模块，包括喷嘴，且通过从所述注射器接收所述粘性液体，而经由所述喷嘴施配所述粘性液体；流率传感器模块，安装于连接所述泵模块的所述喷嘴和所述注射器的流动路径中，且经配置以测量所述粘性液体的流率；以及控制器，经配置以接收使用所述流率传感器模块测量的所述粘性液体的所述流率，且产生用于控制所述泵模块的操作的控制信号。通过实时测量粘性液体的流率，以便准确地控制粘性液体的流率来施配粘性液体。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 粘性 液体 配器 配方 | ||
【主权项】：
一种流率测量型粘性液体施配器，其特征在于包括：注射器，用于存储待施配的粘性液体；泵模块，包括喷嘴，且通过从所述注射器接收所述粘性液体，而经由所述喷嘴施配所述粘性液体；流率传感器模块，安装于连接所述泵模块的所述喷嘴和所述注射器的流动路径中，且经配置以测量所述粘性液体的流率；以及控制器，经配置以接收使用所述流率传感器模块测量的所述粘性液体的所述流率，且产生用于控制所述泵模块的操作的控制信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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