[发明专利]用于PVD溅射腔室的可偏压式通量优化器/准直器

摘要

在本文描述的一些实施方式中，提供一种可偏压准直器。使所述准直器偏压的能力允许控制溅射物质所穿过的电场。在本公开内容的一些实施方式中，提供了一种具有高有效深宽比，同时维持沿所述准直器的六边形阵列的所述准直器周边的低深宽比的准直器。在一些实施方式中，提供了在六边形阵列中带有陡峭入口边缘的准直器。已经发现，在所述准直器中使用陡峭入口边缘减少了所述六边形阵列的单元的沉积突悬和沉积堵塞。这些各种特征使得膜均匀性得到改善并且延长了所述准直器和工艺配件的寿命。

主权项

一种准直器，所述准直器包括：蜂巢状结构，所述蜂巢状结构具有限定并分开六边形孔隙的壁，其中所述六边形孔隙包括：第一多个六边形孔隙，所述第一多个六边形孔隙在中心区域中，具有第一深宽比；第二多个六边形孔隙，所述第二多个六边形孔隙在周边区域中，具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比；以及第三多个六边形孔隙，所述第三多个六边形孔隙在过渡区域中，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间，其中限定所述过渡区域的所述第三多个孔隙的壁形成将所述中心区域包围的圆锥形状，并且所述壁的上部部分包括入口角部分。