[发明专利]压电振动片的制造方法

摘要

本发明提供能够在单片化时防止压电振动片损伤的压电振动片的制造方法。压电振动片(3)的制造方法具备：在圆片(60)，形成压电板(30)、和经由连结部(61)支撑压电板(30)的框架部(62)的外形形成工序；相对于压电板(30)形成一对激振电极，并且形成从压电板(30)通过连结部(61)延伸到框架部(62)，且相对于一对激振电极分别电连接的一对延伸电极(47、48)的电极形成工序；和截断连结部(61)，以使压电板(30)单片化的单片化工序。在电极形成工序中，将一对延伸电极(47、48)形成在连结部(61)的侧面(61b)上。

主权项

一种压电振动片的制造方法，其利用由压电材料形成的圆片来制造压电振动片，所述压电振动片具有压电板、和在所述压电板上形成，且在被施加既定的驱动电压时使所述压电板振动的一对激振电极，其特征在于，具备：外形形成工序，在所述圆片，形成所述压电板、和经由连结部支撑所述压电板的框架部；电极形成工序，在所述圆片的主面上及侧面上构图电极膜，对所述压电板形成所述一对激振电极，并且形成从所述压电板通过所述连结部延伸到所述框架部，且相对于所述一对激振电极分别电连接的一对延伸电极；和单片化工序，截断所述连结部，以使所述压电板单片化，在所述电极形成工序中，将所述一对延伸电极之中的至少任一个延伸电极形成在所述连结部的侧面上。