[发明专利]材料沉积的改进方法有效
| 申请号： | 201610963956.0 | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN107058944B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | B.R.小劳思;T.G.米勒;C.吕;N.T.弗兰科 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/22;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王琳;罗文锋 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料沉积的改进方法。用于带电粒子处理的方法和装置包括形成由至少两种材料构成的保护层。这两种材料可以混合在一起或可以作为分开的层沉积。其已经根据样品的材料性质配制和布置。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 沉积 改进 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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