[发明专利]湿式制程装置

摘要

本发明提供一种湿式制程装置。本发明藉由在一主液体移除单元旁设置一副液体移除单元，并在所述副液体移除单元与所述主液体移除单元之间形成一第二风口，产生一伯努利现象，进而藉由所述第二风口带走靠近一容器侧壁的液体，避免液体的累积。

主权项

1.一种湿式制程装置，其特征在于，包括：一第一容器，包括一第一侧壁的一开口，用于让一基板沿着所述第一容器的第一轴从所述开口离开或进入所述第一容器；一主液体移除单元，设置在所述第一容器内部靠近所述第一侧壁与所述开口之区域，并且所述主液体移除单元包括第一风口；一气体提供单元，提供一气体至所述主液体移除单元，以由所述第一风口流向所述基板；以及一副液体移除单元，邻接于所述主液体移除单元，并且远离所述开口，所述副液体移除单元与所述主液体移除单元之间形成一第二风口，所述副液体移除单元包括连接至所述第一侧壁的一导板；其中，所述主液体移除单元、所述第一侧壁、所述导板以及所述副液体移除单元之间的物质依序经过所述导板、所述副液体移除单元往所述第二风口移动。