[发明专利]用于处理太阳能电池的设备、用于制造太阳能电池的系统和用于测试太阳能电池的方法在审
| 申请号： | 201610969775.9 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN108010984A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | G·塞勒尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/66;H02S50/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于处理太阳能电池(10)的设备(100)。所述设备(100)包括：双线运输布置(110)，所述双线运输布置具有第一运输线路(112)和第二运输线路(114)且配置为用于运输所述太阳能电池(10)；至少一个第一工艺站(120)，所述至少一个第一工艺站在所述双线运输布置(110)处；单线运输布置(130)，所述单线运输布置具有第三运输线路(132)且配置为用于运输所述太阳能电池(10)；至少一个第二工艺站(122)，所述至少一个第二工艺站在所述单线运输布置(130)处；以及传送模块(140)，所述传送模块在所述至少一个第一工艺站(120)与所述至少一个第二工艺站(122)之间。所述传送模块(140)被配置为用于将太阳能电池(10)从所述第一运输线路(112)和所述第二运输线路(114)传送至第三运输线路(132)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 太阳能电池 设备 制造 系统 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理太阳能电池的设备，所述设备包括：双线运输布置，所述双线运输布置具有第一运输线路和第二运输线路且配置为用于运输所述太阳能电池；至少一个第一工艺站，所述至少一个第一工艺站在所述双线运输布置处；单线运输布置，所述单线运输布置具有第三运输线路且配置为用于运输所述太阳能电池；至少一个第二工艺站，所述至少一个第二工艺站在所述单线运输布置处；以及传送模块，所述传送模块在所述至少一个第一工艺站与所述至少一个第二工艺站之间，其中所述传送模块被配置为用于将所述太阳能电池从所述第一运输线路和所述第二运输线路传送至所述第三运输线路，或反之亦然。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
