[发明专利]磁性封装微机器人及其制备方法有效
| 申请号： | 201610973129.X | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106517081B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李晖;陈静;张南南;王磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B1/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种生物相容性封装的磁性微机器人的制备方法，包括提供硅片，在硅片上制备Omnicoat牺牲层；在Omnicoat牺牲层上旋涂SU‑8光刻胶形成SU‑8基层；得到第一预制层结构；进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；在SU‑8基层上涂覆磁性复合材料，进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作,去离子水清洗，风干；涂覆SU‑8光刻胶；进行烘烤；图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作，去离子水清洗，风干；得到生物相容性封装的磁性微机器人。上述磁性封装微机器人生物相容性和耐化学性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 封装 微机 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，包括：提供硅片，在所述硅片上制备Omnicoat牺牲层；在所述Omnicoat牺牲层上旋涂SU‑8光刻胶形成SU‑8基层；得到第一预制层结构；将所述第一预制层结构在60‑70℃烘烤1.5‑3分钟，然后在90‑100℃烘烤3‑5分钟；采用掩模对准器，在紫外线光源照射下，对所述第一预制层结构进行图形化曝光20‑35s；将所述第一预制层结构在60‑70℃烘烤1.5‑3分钟，然后在90‑100℃烘烤3‑5分钟；在所述SU‑8基层上涂覆磁性复合材料，得到第二预制层结构；将所述第二预制层结构在60‑70℃烘烤1.5‑3分钟，然后在90‑100℃烘烤3‑5分钟；采用掩模对准器，在紫外线光源照射下，对所述第二预制层结构进行图形化曝光25‑35s；将所述第二预制层结构在60‑70℃烘烤1.5‑3分钟，然后在90‑100℃烘烤3‑5分钟；对所述第二预制层结构进行显影操作；在所述第二预制层结构的外表面涂覆SU‑8光刻胶，得到第三预制层结构；将所述第三预制层结构进行在60‑70℃烘烤1.5‑3分钟，然后在90‑100℃烘烤3‑5分钟；采用掩模对准器，在紫外线光源照射下，对所述第三预制层结构进行图形化曝光25‑35s；将所述第三预制层结构在60‑70℃烘烤1.5‑3分钟，然后在90‑100℃烘烤3‑5分钟；对所述第三预制层结构进行显影操作，得到磁性封装微机器人。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院深圳先进技术研究院，未经中国科学院深圳先进技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610973129.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
