[发明专利]一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法在审
| 申请号： | 201610973593.9 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108073043A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 俞庆平 | 申请（专利权）人： | 俞庆平 |
| 主分类号： | G03F7/12 | 分类号： | G03F7/12;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 安徽省合肥市蜀山区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法，过程如下：空间光调制器投影全白图得到投影图像；电荷耦合元件获取投影图像的光强分布并形成灰度分布图；获取灰度分布图的列灰度数据并以列灰度数据为基础进行灰度补偿运算获取灰度补偿数据；将灰度补偿数据形成灰度表格数据并发送到数据处理系统中；在数据处理系统中利用灰度表格数据对等待曝光的图形数据进行补偿运算，得到补偿处理后的数据；由数据处理系统将补偿处理后的数据写入空间光调制器中以调制空间光调制器的输出，实现对光均匀性的补偿。本发明的光均匀性补偿方法采用线补偿的形式，运算量小，实现简单。 | ||
| 搜索关键词： | 灰度 数据处理系统 光均匀性 灰度补偿数据 空间光调制器 表格数据 补偿处理 灰度数据 丝网制版 投影图像 分布图 电荷耦合元件 数据写入空间 补偿运算 光调制器 光强分布 灰度补偿 激光直写 图形数据 均匀性 运算量 直写 调制 投影 运算 并发 曝光 输出 | ||
【主权项】：
1.一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法，用于对直写式丝网制版系统中光均匀性进行补偿，所述直写式丝网制版系统由可编程数据控制器根据版图中的图形位置和网版的位置实时生成曝光需要的光学图案并驱动空间光调制器完成曝光任务实现直写式制版，其特征在于，所述光均匀性补偿方法的过程为：空间光调制器投影全白图得到投影图像；电荷耦合元件获取投影图像的光强分布并形成灰度分布图；获取灰度分布图的列灰度数据并以列灰度数据为基础进行灰度补偿运算获取灰度补偿数据；将灰度补偿数据形成灰度表格数据并发送到数据处理系统中；在数据处理系统中利用灰度表格数据对等待曝光的图形数据进行补偿运算，得到补偿处理后的数据；由数据处理系统将补偿处理后的数据写入空间光调制器中以调制空间光调制器的输出，实现对光均匀性的补偿。
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