[发明专利]一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置及其对准方法有效
| 申请号： | 201610974764.X | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN106569254B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 石永强;左富昌;邓楼楼;吕政欣 | 申请（专利权）人： | 北京控制工程研究所 |
| 主分类号： | G01T7/00 | 分类号： | G01T7/00;G01M11/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，包括扩束激光器、双轴姿态调整架、升降平移三角架、孔径光阑、四自由度平移旋转台、掠入射镜头和X射线源；扩束激光器安装在双轴姿态调整架上，双轴姿态调整架安装在升降平移三角架上，掠入射镜头安装在四自由度平移旋转台上，孔径光阑安装在扩束激光器和掠入射镜头之间，X射线源安装在扩束激光器和孔径光阑之间；本发明通过设置扩束激光器、双轴姿态调整架、升降平移三角架、孔径光阑和四自由度平移旋转台，实现了掠入射镜头和X射线源的高精度对准，解决了传统装置精度较低的问题；通过四自由度平移旋转台微调掠入射镜头位置和姿态，简化了操作过程，弥补了传统装置操作复杂的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 入射 激光器 扩束 孔径光阑 平移旋转 四自由度 姿态调整 双轴 三角架 平移 镜头 升降 传统装置 光源对准 远距离 对准 操作过程 镜头安装 镜头位置 微调 | ||
【主权项】：
1.一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：包括扩束激光器(1)、双轴姿态调整架(2)、升降平移三角架(3)、孔径光阑(4)、四自由度平移旋转台(5)、掠入射镜头(6)和X射线源(7)；扩束激光器(1)安装在双轴姿态调整架(2)上，双轴姿态调整架(2)安装在升降平移三角架(3)上，掠入射镜头(6)安装在四自由度平移旋转台(5)上，孔径光阑(4)安装在扩束激光器(1)和掠入射镜头(6)之间，X射线源(7)安装在扩束激光器(1)和孔径光阑(4)之间。
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