[发明专利]表面涂层处理在审
| 申请号： | 201610976836.4 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN107017146A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 丽华·李·黄;施洪;李斯文 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 樊英如,包孟如 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及表面涂层处理。提供了一种用于修整在衬底上的厚度小于150μm的陶瓷层的方法。清洁所述陶瓷层。用脉冲准分子激光束以3‑300Hz的重复频率扫描所述陶瓷层的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 涂层 处理 | ||
【主权项】：
一种用于修整在衬底上的厚度小于150μm的陶瓷层的方法，其包括：清洁所述陶瓷层；用脉冲准分子激光束以3‑300Hz的重复频率扫描所述陶瓷层的区域。
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