[发明专利]用于刻划碳化硅板的方法和设备在审
| 申请号： | 201610979364.8 | 申请日： | 2011-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN106626106A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 坂东和明 | 申请（专利权）人： | 坂东机工株式会社 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 胡晓萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 刻划设备包括水平工作台(3)，碳化硅板(2)在真空抽吸作用下固定在该水平工作台(3)上；进给螺纹(5)和Y轴控制电动机(6)，该进给螺纹(5)和Y轴控制电动机(6)用于使水平工作台(3)在刻划数字控制下沿着成对引导轨道(4、4)移动；引导轨道装置本体(7)，该引导轨道装置本体(7)沿着X轴方向安装在水平工作台(3)上方；支架(8)，该支架(8)安装在引导轨道装置本体(7)上，以便在被引导的同时沿X轴方向移动；进给螺纹和X轴控制电动机(9)，该进给螺纹和X轴控制电动机(9)用于使支架(8)在数字控制下沿X轴方向移动；以及刻划头部(10)，该刻划头部(10)安装在支架(8)上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 刻划 碳化硅 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种碳化硅板刻划方法，所述方法包括如下步骤：首先在刻划开始时在刻划起始点处刻划出凹痕；以及从所述凹痕内开始刻划。
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