[发明专利]一种双面对位的曝光机对位台有效
申请号: | 201610981587.8 | 申请日: | 2016-11-09 |
公开(公告)号: | CN106990675B | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 张惠光 | 申请(专利权)人: | 保定来福光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 071700 河北省保*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种双面对位的曝光机对位台,包括底座、第一台板和第二台板,第一台板被第一驱动装置驱动相对于底座运动,第二台板被第二装置驱动相对于第一台板运动,也可以与第一台板一起同步运动,在第一台板上安有PCB板支撑架吸附固定件,在第二台板上安有下菲林框架吸附固定件。该对位台能够在不依赖通孔靶点、不翻转PCB板的情况下将PCB板分别与上下菲林进行对位,而且能够使体积更加紧凑,针对现有曝光机的有限空间直接替换原有对位机构,将原来需翻转PCB板进行的两次单面对位变成不翻转PCB板的双面对位。 | ||
搜索关键词: | 台板 翻转 曝光机 吸附固定 对位台 对位 第一驱动装置 驱动 底座运动 第二装置 对位机构 台本发明 同步运动 下菲林 支撑架 靶点 底座 菲林 通孔 紧凑 替换 | ||
【主权项】:
1.一种双面对位的曝光机对位台,包括底座和第一台板,第一台板经第一转动件安装在第一滑动件上,第一滑动件安装在底座上,第一滑动件与第一驱动装置相连,其特征在于,第二台板经第二滑动件安装在第一台板上,第二台板经传动连接件与第二驱动装置相连,第二驱动装置与第一台板相固定,在第一台板上安有PCB板支撑架吸附固定件,在第二台板上安有下菲林框架吸附固定件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于保定来福光电科技有限公司,未经保定来福光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610981587.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种光刻胶供应装置
- 下一篇:实现激光直接成像图形均匀性的方法