[发明专利]无压力的臭氧化去离子水(DIO3)的再循环回收系统有效

专利信息
申请号: 201610982023.6 申请日: 2013-11-04
公开(公告)号: CN106395954B 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: J·H·塞沃特;U·A·布拉默;M·布拉查;G·J·施奈特 申请(专利权)人: MKS仪器股份有限公司
主分类号: C02F1/20 分类号: C02F1/20;B01D19/00;G03F7/42;H01L21/02;C02F1/78;C02F103/34
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 张兰英
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明在一个方面提供一种再循环臭氧化液体的系统。该系统包括:接触器,接触器包括至少两个入口和至少两个出口。接触器与第一接触器入口处的第一流体源和第二接触器入口处的第二液体源流体地连通,且第二接触器入口接收气体,该气体清除至少一部分来自第一接触器入口处接收的液体的气体。该清除的气体在第一接触器出口处流出接触器。接触器与第二接触器出口处的第二液体源流体地连通,该接触器排放接触器内至少一部分的液体,排放的液体在第二接触器出口处流出接触器。接触器包括与第一液体源流体地连通的第三入口,该第三入口允许第一液体源释放环境压力下的液体。
搜索关键词: 压力 臭氧 离子水 dio3 再循环 回收 系统 方法
【主权项】:
1.一种再循环臭氧化液体的系统,该系统包括:接触器,接触器包括至少两个入口和至少两个出口,所述接触器在第一接触器入口处与包括工具的第一液体源并在第二接触器入口处与第二液体源流体地连通,且所述第二接触器入口接收气体,该气体清除来自在所述第一接触器入口处接收的所述臭氧化液体的气体的至少一部分,而所述臭氧化液体来自所述第一液体源的所述工具,该清除的气体在第一接触器出口处流出所述接触器,其中,所述接触器在第二接触器出口处与所述第二液体源流体地连通,该接触器排放所述接触器内所述清除的臭氧化液体的至少一部分,排放的液体在所述第二接触器出口处流出所述接触器以供应到连接于所述工具的所述第二液体源。
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