[发明专利]一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置在审
| 申请号： | 201610985236.4 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106383396A | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王虎;沈阳;樊学武;刘美莹;刘阳;刘杰;林上明;潘越 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置，方法包括首先将一束激光经分束棱镜分为反射光束和透射光束；其中反射光束经准直后再被反射，原路返回后成像；透射光束准直后会聚于待测物镜表面的曲率中心，被待测镜表面反射后沿原光路返回经分束棱镜反射后成像；用亚像素技术获取像面光斑的质心，根据质心点的坐标就可得出待测元件表面的偏心量。不但可以满足高精度光学定心的要求，而且还可以为未来定心装置的发展提供一种思路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面 反射 微米 光电 定心 方法 装置 | ||
【主权项】：
基于表面反射像的微米级光电定心方法，其特征在于：包括以下步骤：1)将一束激光经分束棱镜分为反射光束和透射光束；2)其中反射光束经准直后再被反射，原路返回后成像；透射光束准直后会聚于待测物镜表面的曲率中心，被待测镜表面反射后沿原光路返回经分束棱镜反射后成像；3)用亚像素技术获取像面光斑的质心，根据质心点的坐标就可得出待测元件表面的偏心量。
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