[发明专利]在正交补偿电极上具有电容增强的MEMS装置在审
| 申请号： | 201610987197.1 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN107036591A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 邵鹏 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS装置包括能够沿着驱动轴进行振荡驱动运动并沿着垂直于所述驱动轴的感测轴进行振荡感测运动的质量系统。正交校正单元包括固定电极和耦合到所述可移动质量系统的可移动电极，它们各自沿着所述驱动轴纵向朝向。所述可移动电极通过具有初始宽度的间隙与所述固定电极间隔开。所述固定和可移动电极中的至少一个电极包括向所述固定和可移动电极中的另一个电极延伸的挤压区。所述可移动电极与所述质量系统一起进行振荡运动，以使得所述挤压区通过展现小于第一宽度的第二宽度的间隙与所述固定和可移动电极中的另一个电极周期性地间隔开，由此实现所述电极之间的电容增强。 | ||
| 搜索关键词： | 正交 补偿 电极 具有 电容 增强 mems 装置 | ||
【主权项】：
一种用于电容增强的MEMS装置，其特征在于，包括：耦合到基板并在第一方向上纵向朝向的固定电极；耦合到可移动质量系统并从所述可移动质量系统延伸的可移动电极，所述可移动电极在所述第一方向上纵向朝向，所述可移动电极在垂直于所述第一方向的第二方向上通过间隙与所述固定电极间隔开；以及挤压区，其在所述第二方向上从所述固定和可移动电极中的一个电极向所述固定和可移动电极中的另一个电极延伸。
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