[发明专利]一种立式太阳能硅片扩散炉

摘要

本发明公开一种立式太阳能硅片扩散炉，属于太阳能电池生产技术领域。包括立式炉体、炉门、石英舟组、进气装置和废气排放装置，石英舟组由石英舟依次竖直叠放而成，石英舟中间设有垂直贯通的导孔，在石英舟上以该导孔中心轴线为中心呈放射性均匀设有用于放置硅片的舟槽；进气装置包括进气螺旋管和气体混合装置，进气螺旋管设置在石英舟组与炉体腔壁之间，进气螺旋管朝向石英舟组一侧均布有进气孔；进气螺旋管连接气体混合装置；废气排放装置包括排气管和废气储蓄装置，排气管沿炉体炉腔中心轴线竖直设置，并对应设置在石英舟的导孔中；排气管上均布有排气口，其底部连接废气储蓄装置。本发明能够有效提高扩散均匀性，同时提高单炉产量。

主权项

1.一种立式太阳能硅片扩散炉，包括立式炉体、炉门、石英舟组、进气装置和废气排放装置，所述炉门设置在炉体顶部，用于打开或闭合炉体炉腔，所述进气装置和废气排放装置分别连通炉体炉腔；其特征在于：所述石英舟组由石英舟依次竖直叠放而成，并竖直放置在炉体炉腔中间，所述石英舟中间设有垂直贯通的导孔，在石英舟上以该导孔中心轴线为中心呈放射性均匀设有用于放置硅片的舟槽；所述进气装置包括进气螺旋管和气体混合装置，所述进气螺旋管设置在石英舟组与炉体腔壁之间，进气螺旋管朝向石英舟组一侧均布有进气孔；进气螺旋管连接气体混合装置；所述废气排放装置包括排气管和废气储蓄装置，所述排气管沿炉体炉腔中心轴线竖直设置，并对应设置在所述石英舟的导孔中；所述排气管上均布有排气口，其底部连接废气储蓄装置。