[发明专利]连续镀膜系统及其方法在审
| 申请号： | 201610996798.9 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN108070841A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 刘钧;裴世铀;苏永顺 | 申请（专利权）人： | 无锡威迪变色玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 214161*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种连续镀膜系统及其方法，其中，所述连续镀膜系统包括：多个镀膜腔体单元，每个镀膜腔体单元包括第一缓冲腔、镀膜工艺腔和第二缓冲腔，镀膜工艺腔能够采用多种镀膜工艺；传输装置，用于传输多个携带基板的基板架，使多个基板架依次通过镀膜腔体单元；控制装置，用于按照生产节拍控制镀膜工艺腔对基板进行镀膜、以及控制传输装置传输多个基板架；生产节拍包括第一时间段和第二时间段，在第一时间段，对镀膜工艺腔内的基板镀膜，在第二时间段内，在静态或扫描镀膜工艺流程下镀膜工艺腔停止镀膜，且以第一传输速度将基板架传输预设距离，或者在第二时间段内，在动态镀膜工艺流程下控制镀膜工艺腔连续镀膜，及将基板架匀速地传输预设距离。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜工艺 时间段 镀膜 连续镀膜系统 传输 镀膜腔体 基板架 多个基板 预设距离 工艺流程 缓冲腔 生产节拍控制 传输装置 基板镀膜 控制传输 控制装置 连续镀膜 生产节拍 对基板 基板 腔内 扫描 携带 | ||
【主权项】：
1.一种连续镀膜系统，其特征在于，包括：多个镀膜腔体单元，每个镀膜腔体单元包括镀膜工艺腔，所述镀膜工艺腔能够采用多种镀膜工艺流程进行镀膜，所述多种镀膜工艺流程包括动态镀膜、静态镀膜或扫描镀膜；传输装置，用于传输多个基板依次通过所述多个镀膜腔体单元；以及控制装置，用于按照生产节拍控制所述多个镀膜工艺腔对所述多个基板进行镀膜、以及控制所述传输装置传输所述多个基板。
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