[发明专利]具有微型锥孔的SU-8光刻胶薄膜及制备方法和应用

摘要

本发明提供一种具有微型锥孔的SU‑8光刻胶薄膜及制备方法和应用。本发明的具有微型锥孔的SU‑8光刻胶薄膜的制备方法，包括如下顺序进行的步骤：在具有PDMS层的基底上涂覆SU‑8光刻胶，前烘；采用掩膜进行间隙曝光，后烘，使SU‑8光刻胶层呈弱交联状态；显影，从PDMS层上剥离SU‑8光刻胶层，得到具有微型锥孔的SU‑8光刻胶薄膜。本发明的SU‑8光刻胶薄膜具备键合能力，从而无需借助粘结剂即可直接与腔室壁键合连接，利用该SU‑8光刻胶薄膜制造打印头时工艺简单，喷孔不易脱落及堵塞。

主权项

1.一种具有微型锥孔的SU-8光刻胶薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下顺序进行的步骤：在具有PDMS层的基底上涂覆SU-8光刻胶，前烘；采用掩膜进行间隙曝光，后烘，使SU-8光刻胶层呈弱交联状态；显影，从PDMS层上剥离SU-8光刻胶层，得到具有微型锥孔的SU-8光刻胶薄膜。