[发明专利]一种工业化大规模生产碳化硅粉体的方法有效
申请号: | 201611002873.1 | 申请日: | 2016-11-15 |
公开(公告)号: | CN106430212B | 公开(公告)日: | 2017-08-22 |
发明(设计)人: | 陈琦;尹龙卫;银航;李显坪;俞欢 | 申请(专利权)人: | 扬州中天利新材料股份有限公司 |
主分类号: | C01B32/984 | 分类号: | C01B32/984 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所32106 | 代理人: | 江平 |
地址: | 225000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种工业化大规模生产碳化硅粉体的方法,涉及高纯SiC粉体的一种工业化规模生产方法。本发明选择卤硅烷或者硅烷作为原始硅源,采用分段加热的方法,特别是采用研磨工艺,使得混合物混合更加均匀。本发明还利用定向凝聚对产品进行偏析提纯,使得生产过程的污染较小;采用了前体水解和高温碳化相结合的方法,使得硅粉和碳粉能够均匀混合,从而保证最终产物较好的均一性。 | ||
搜索关键词: | 一种 工业化 大规模 生产 碳化硅 方法 | ||
【主权项】:
一种工业化大规模生产碳化硅粉体的方法,其特征在于包括以下步骤:1)将硅源与氢气混合在环境温度>1000℃条件下反应,得到纯度>4N的 Si粉;将具有小分子有机物的碳源提纯后在无氧条件下高温碳化得到纯度>4N的C粉;所述硅源为卤硅烷或者硅烷;2)将所述Si粉和C粉以1∶1的摩尔比混合后,加入高纯水进行水解反应,得到SiO2和C的均质浆料;3)将SiO2和C的均质浆料置于150~300℃温度环境中进行造粒干燥,然后在600~800℃温度环境中热解碳化,取得碳化后混合物;4)将碳化后混合物置于500~600℃温度环境中预烧,除去混合物表面残留的水蒸气和空气,然后将混合物进行研磨后置于1400~1900℃温度环境中进行中温合成,取得碳化硅粉体粗品;5)将碳化硅粉体粗品经提纯后,取得碳化硅粉体精品。
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