[发明专利]振动装置、振动装置的制造方法、电子设备以及移动体在审
申请号: | 201611008275.5 | 申请日: | 2016-11-16 |
公开(公告)号: | CN107024202A | 公开(公告)日: | 2017-08-08 |
发明(设计)人: | 市川史生 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01C19/5621 | 分类号: | G01C19/5621;G01C19/5628 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人: | 苏萌萌,范文萍 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及振动装置、振动装置的制造方法、电子设备以及移动体,目的在于对将在被设置于振动臂上的贯穿孔的内侧面的对角的位置处所配置的电极彼此短路的配线的断线进行抑制。振动装置具有第一振动臂(检测臂(3a)),其具有隔着贯穿表面以及背面的贯穿孔(58a)而位于两侧的壁部(3d、3e),壁部具备两个电极,该两个电极分别被配置在位于贯穿孔的壁部侧的两个内侧面(26h、26i)上,并具有相互不同的电位,且沿着表面以及背面而并排延伸,各个电极中的位于一个内侧面(26i)的表面侧的第一电极(第一检测电极(21a))和位于另一个内侧面(26h)的背面侧的第二电极(第二检测电极(21b))通过被配置在对两个内侧面进行连接的一个端侧面(58c)上的第一配线(25)而被短路。 | ||
搜索关键词: | 振动 装置 制造 方法 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】:
一种振动装置,其特征在于,具有第一振动臂,所述第一振动臂具备:表面以及背面;贯穿孔,其贯穿所述表面以及所述背面;壁部,其隔着所述贯穿孔而位于两侧,所述壁部具备两个电极,该两个电极分别被配置在位于所述贯穿孔的所述壁部侧的两个内侧面上,并被施加相互不同的电位,且沿着所述表面以及所述背面而并排延伸,各个所述电极中的位于一个所述内侧面的所述表面侧的第一电极和位于另一个所述内侧面的所述背面侧的第二电极通过第一配线而被短路,所述第一配线被配置在对两个所述内侧面进行连接的一个端侧面上。
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