[发明专利]聚焦环及其工作方法有效
| 申请号： | 201611012477.7 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108070833B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种聚焦环及其工作方法，其中，聚焦环包括：环体，所述环体包括相对的第一面和第二面、以及位于第一面和第二面之间的第一柱面和第二柱面，且所述第一柱面和第二柱面的两侧分别与第一面和第二面连接，所述第一柱面和第二柱面的母线平行；位于所述环体中的开口，所述开口自第一面延伸至第二面，且所述开口自第一柱面贯穿至第二柱面；所述环体在垂直于所述第一柱面或第二柱面母线的平面内具有环体投影图形，且所述环体投影为封闭环形。所述环体投影为封闭环形，则当分别在所述开口侧壁施加不同电位时，能够使所述聚焦环中的电流产生的电磁场分布较均匀。因此，通过所述聚焦环形成的薄膜厚度较均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 环体 柱面 聚焦环 第二面 开口 封闭环形 投影 电位 电磁场分布 电流产生 开口侧壁 投影图形 柱面母线 面延伸 母线 薄膜 平行 垂直 施加 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种聚焦环，其特征在于，包括：/n环体，所述环体包括相对的第一面和第二面、以及位于第一面和第二面之间的第一柱面和第二柱面，且所述第一柱面和第二柱面的两侧分别与第一面和第二面连接，所述第一柱面和第二柱面的母线平行；/n位于所述环体中的开口，所述开口自第一面延伸至第二面，且所述开口自第一柱面贯穿至第二柱面；/n所述环体在垂直于所述第一柱面或第二柱面母线的平面内具有环体投影图形，且所述环体投影为封闭环形。/n
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