[发明专利]20MHz集成式石英力敏谐振器在审
| 申请号： | 201611013644.X | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108092637A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 田文杰;朴林华;陈福彬;田子敬;朴然 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/05;H03H9/125;H03H9/19 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100101*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种20MHz集成式石英力敏谐振器的设计、结构及制作。本发明在同一石英晶体基片上不同的位置设置多对电极，每对电极可构成一个独立的谐振器，各谐振器分别与各自的激励电路连接时可同时独立地工作，彼此之间互不干扰。当在基片的边缘位置沿直径方向给基片施加径向力作用时，不同位置的谐振器表现出不同的力敏特性；选择一定的径向力作用方位，利用不同位置的谐振器间的力敏特性差异，通过共模抑制及频率信号融合技术，可得到一种能抑制温度干扰并具有良好力敏特性的集成式石英力敏谐振器。这种集成式石英力敏谐振器可作为力敏元件用于姿态检测、惯性导航、形变监控等军用装备及民用设施检测控制领域。 | ||
| 搜索关键词： | 力敏谐振器 集成式 谐振器 石英 径向力 石英晶体基片 边缘位置 多对电极 共模抑制 惯性导航 互不干扰 激励电路 军用装备 力敏元件 民用设施 频率信号 特性差异 温度干扰 姿态检测 作用方位 对电极 形变 施加 监控 融合 检测 制作 表现 | ||
【主权项】：
1.一种20MHz集成式石英力敏谐振器，涉及这种20MHz集成式石英力敏谐振器的设计、结构及制作，其特点是在同一薄圆形石英晶体基片上，集成多对大小和形状相同的独立电极，每对独立电极构成一个独立谐振器，各个独立的谐振器其振荡基频为20MHz±5kHz。
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