[发明专利]弹性波组件及其复合基板在审
| 申请号： | 201611021062.6 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108075742A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 王兴民;李瑞评 | 申请（专利权）人： | 兆远科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/54;H03H9/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种弹性波组件，包含有一复合基板、一正电极结构与一负电极结构，其中复合基板由一硅基板与一压电基板接合而成，正电极结构与负电极结构设置于该压电基板上，其中，该硅基板具有一表面与该压电基板接合，该表面的片电阻为10000ohm/square以上。从而，避免电荷累积在硅基板上邻近该表面处，避免形成寄生的体声波组件而产生体声波干涉。 | ||
| 搜索关键词： | 复合基板 压电基板 硅基板 负电极结构 正电极结构 接合 弹性波 体声波 电荷累积 表面处 片电阻 邻近 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波组件的复合基板，其特征在于，包含有：一硅基板，具有一表面，该表面的片电阻为10000ohm/square以上；以及一压电基板，结合于该硅基板的该表面。
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