[发明专利]一种DMD结构多轴可移动光路直写曝光机

摘要

本发明公开了一种DMD结构多轴可移动光路直写曝光机，属于直写曝光技术领域。本发明的DMD结构多轴可移动光路直写曝光机，主要对真空吸盘结构进行了改进，有效解决了生产小板时由于漏气而造成的吸力不足的问题。进一步地，吸盘上的气孔分布为中间疏、四周密，有效杜绝了板子边缘翘起的问题，节省了气孔数量，减少了成本。本发明的DMD结构多轴可移动光路直写曝光机，可生产55英寸的超大板；且吸盘下方连接多组运动组件，多组运动组件的运动轴同步运动，提高了曝光精度和运行的稳定性。同时，分区对位聚焦方法改进可以确保图像曝光位置准确，图像曝光清楚。

主权项

一种DMD结构多轴可移动光路直写曝光机，其特征在于，所述DMD结构多轴可移动光路直写曝光机包括支撑结构、DMD结构、DMD结构步进轴、多个运动组件、真空吸盘；每个运动组件包括一个扫描Y轴和一个升降Z轴；真空吸盘位于运动组件上方；所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置；吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔，每一行气孔各对应一个继电器，每一列气孔也各对应一个继电器；每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关；气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接，所述气孔开关位于气孔与真空发生装置连接的真空管路上；所述气孔在吸盘主体上呈中间疏、四周密的分布形式，气孔的开口形状为正方形或长方形，所述吸盘主体的盘面为一整体盘面或由多块盘面组合而成。