[发明专利]一种WAT阈值电压测试方法及系统有效
| 申请号： | 201611031129.4 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN106646180B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 沈茜;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种WAT阈值电压测试方法及系统，该方法包括如下步骤：对源漏极电压分别增加以及减少一个大小为ΔV的小电压，分别得到两个漏极电流Id1与Id2；根据得到的漏极电流确定该源漏极电压与漏极电流曲线的斜率；根据获得的斜率及量测的漏极电流，确定器件的工作状态，根据器件的工作状态采用相应的方法进行阈值电压测试,本发明能够在测试时自动判断器件工作在何种状态，不需要预先设置器件所在的工作区，无需人为的去判断器件在何种工作状态再进行阈值电压的测试，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 漏极电流 阈值电压测试 源漏极电压 测试 测试效率 判断器件 预先设置 自动判断 阈值电压 小电压 量测 | ||
【主权项】：
1.一种WAT阈值电压测试方法，包括如下步骤：步骤一，对源漏极电压分别增加以及减少一个大小为ΔV的小电压，分别得到两个漏极电流Id1与Id2；步骤二，根据得到的漏极电流确定该源漏极电压与漏极电流曲线的斜率；步骤三，根据获得的斜率及量测的漏极电流，确定器件的工作状态，根据器件的工作状态采用相应的方法进行阈值电压测试，确定器件的工作状态的具体方法包括：如果量测的漏极电流大于或等于一预设阈值，无论斜率K为何值，则认为器件工作在击穿区；若量测的漏极电流小于该预设阈值，且K大于等于一预设值，则认为器件工作在线性区；若量测的漏极电流小于该预设阈值，且K小于该预设值，则认为该器件工作在饱和区。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611031129.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
