[发明专利]彩色抗蚀剂剥离液组合物有效
| 申请号： | 201611031641.9 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106896652B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 崔汉永;白钟旭;金佑逸 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;陈彦 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种彩色抗蚀剂剥离液组合物，更详细而言，涉及一种包含无机碱或其盐化合物、包含羟基的季铵盐化合物、化学式1所表示的胺化合物、极性有机溶剂和水的彩色抗蚀剂剥离液组合物。下述化学式1中，n为1～3的整数；R |
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| 搜索关键词： | 彩色 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
一种彩色抗蚀剂剥离液组合物，其包含：(A)无机碱或其盐化合物、(B)包含羟基的季铵盐化合物、(C)下述化学式1所表示的胺化合物、(D)极性有机溶剂、和(E)水，<化学式1>所述化学式1中，n为1～3的整数；R1为C1～C4的直链或支链烷基；R2为氢或甲基。
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