[发明专利]基板保持装置、涂布装置、基板保持方法

摘要

本发明涉及一种基板保持装置、涂布装置、基板保持方法。基板保持装置包括：载置台，将基板载置于载置面；位置调整机构，通过位置调整构件，以在载置面载置有基板的状态自隔开位置向抵接位置移动而执行对载置面上的基板的位置进行调整的位置调整处理；按压机构，选择性地使按压构件位于正式按压位置及暂时按压位置；以及控制部，一边使位置调整构件位于隔开位置一边使按压构件朝向载置面上的基板移动并在位于暂时按压位置后，使位置调整机构执行位置调整处理，在位置调整处理结束后使按压构件移动至正式按压位置。本发明能够抑制基板的翘曲对载置台上的基板的位置调整的影响。

主权项

1.一种基板保持装置，其特征在于包括：载置台，将基板载置于载置面；位置调整机构，通过使能够在与所述载置面上的所述基板的周缘抵接的抵接位置及与所述载置面上的所述基板的周缘隔开的隔开位置之间移动的位置调整构件，以在所述载置面载置有所述基板的状态自所述隔开位置向所述抵接位置移动而执行对所述载置面上的所述基板的位置进行调整的位置调整处理；按压机构，选择性地使按压构件位于正式按压位置及暂时按压位置，所述正式按压位置通过将所述载置面上的所述基板按压至所述载置面而使所述基板的形状遵循所述载置面的形状，所述暂时按压位置较所述正式按压位置更远离所述载置面且与所述载置面上的所述基板对向；以及控制部，一边使所述位置调整构件位于所述隔开位置一边使所述按压构件朝向所述载置面上的所述基板移动，并在位于所述暂时按压位置后，使所述位置调整机构执行所述位置调整处理，在所述位置调整处理结束后使所述按压构件移动至所述正式按压位置。