[发明专利]一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构在审
| 申请号： | 201611036623.X | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN106838566A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 崔志勇;黄卫清;孙梦馨;王寅 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | F16M11/08 | 分类号： | F16M11/08;G12B5/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，包括基座，内圈以及外圈，所述的内圈、外圈共圆心，且内圈与外圈之间均匀连接有三组驱动模块，分别为第一驱动模块，第二驱动模块，第三驱动模块；所述的驱动模块包括压电叠堆，位移放大机构；所述压电叠堆设置在位移放大机构的内部，本发明通过相应的控制，将三组驱动模块运动的相互配合，实现各方向对称的作动范围，且能够实现X轴平动和Y轴平动；通过利用三角放大原理将压电叠堆的输出位移放大，可用小的压电叠堆控制大范围，此机构具有结构简单、运动范围大、高精度等特点，能有应用显微镜的精密定位、光学防抖、精密制造等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 驱动 二维 并联 精密 定位 机构 | ||
【主权项】：
一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，包括基座（1），内圈（5）以及外圈（2），其特征在于，所述的内圈（5）、外圈（2）共圆心，且内圈（5）与外圈（2）之间均匀连接有三组驱动模块，分别为第一驱动模块（13），第二驱动模块（14），第三驱动模块（15）；所述的驱动模块包括压电叠堆（3），位移放大机构（4）；所述压电叠堆（3）设置在位移放大机构（4）的内部。
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