[发明专利]一种异面电极结构芯片的频率响应测试装置在审
| 申请号： | 201611043995.5 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN106771944A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;张一鸣;张志珂;赵泽平;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种异面电极结构芯片的频率响应测试装置，涉及光电子器件领域。本发明提出的频率响应测试装置包括矢量网络分析仪、探针、探测器，其中，还包括一个测试平台，该测试平台针对异面电极结构芯片，结合了共面波导传输线结构，采用金丝实现电极之间的最短连接，不仅极大的提高了测试结构的截止频率，使得寄生参数的影响大大减小，同时降低了高频传输损耗，使得高频传输特性更好，能够得到精确、真实的异面电极结构芯片的频率响应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 结构 芯片 频率响应 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种异面电极结构芯片频率响应测试装置，包括：矢量网络分析仪、探针、探测器，其特征在于，还包括一个测试平台，所述的测试平台包括共面波导传输线和多根金丝，所述共面波导传输线包括多个电极，所述多根金丝用于连接所述异面电极结构芯片和共面波导传输线的电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611043995.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：沙发（SFG8010A‑三位）
- 下一篇：餐椅（N8007）
