[发明专利]一种SF6的在线快速测量装置及方法在审
| 申请号： | 201611044508.7 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108088892A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 黄卫;李海洋;王卫国;陈创;渠团帅;王祯鑫;鞠帮玉;王永超;厉梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对大气环境中的SF6进行灵敏、快速在线监测的新方法及装置。本方法利用负离子模式离子迁移谱，分别通过直接进样和掺杂水汽的方式检测干燥环境和不同湿度环境中的SF6。监测装置包括：漂气、质量流量计、空气过滤器、掺杂剂瓶、掺杂剂、离子迁移谱系统、放大器、真空泵等。本发明通过负离子模式离子迁移谱吸气采样，设计掺杂剂装置掺杂特定浓度的水汽的方式，引发化学反应，在排除大气环境中不同湿度对测量干扰的同时，通过监测SF6的分子离子峰和与水汽反应后形成的新峰，提高离子迁移谱对SF6测量的准确性和稳定性。本发明检测限可达0.1ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 离子迁移谱 水汽 负离子模式 大气环境 掺杂剂 掺杂 测量 放大器 离子迁移谱系统 在线快速测量 化学反应 分子离子峰 空气过滤器 质量流量计 吸气 掺杂剂瓶 方式检测 干燥环境 监测装置 湿度环境 在线监测 直接进样 真空泵 采样 灵敏 监测 检测 | ||
【主权项】：
1.一种SF6 的在线快速测量装置，其特征在于：装置包括：漂气(1)、第一质量流量计(2)、样品气(3)、空气过滤器(4)、掺杂剂瓶(5)、掺杂剂(6)、离子迁移谱系统(7)、信号放大器(8)、信号采集及显示设备(9)、第二质量流量计(10)、真空泵(11)、尾气(12)；离子迁移谱系统(7)气路包括漂气口、进样口、尾气口；漂气气源中的漂气(1)经第一质量流量计(2)与离子迁移谱系统(7)漂气口相连；样品气(3)与空气过滤器(4)直接与掺杂剂瓶(5)上部的进气口相连，掺杂剂瓶(5)上部的出气口与离子迁移谱系统(7)的进样口相连；于掺杂剂瓶(5)内放置有内部装填掺杂剂(6)的密闭容器，密闭容器顶端上开设有作为透气孔的通孔；离子迁移谱系统(7)尾气口的尾气(12)经第二质量流量(10)计与真空泵(11)的进气口相连；尾气(12)经质量流量计(10)由真空泵(11)排出；离子迁移谱系统(7)输出的电信号经信号放大器(8)后由信号采集及显示设备(9)采集并输出。
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