[发明专利]一种载板组合及加热装置在审
| 申请号： | 201611046052.8 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108091723A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 倪鹏玉;王树林;杨与胜 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种载板组合及加热装置，其中所述载板组合包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。本发明使得载板易于拆卸，方便维护保养，同时并且可最小化载板由于热效应造成的变形的影响，从而避免大板产生变形造成对产品品质的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 载板 支撑结构 加热装置 开孔 热效应 产品品质 承载区域 维护保养 变形的 可拆卸 最小化 拆卸 大板 张紧 变形 | ||
【主权项】：
1.一种载板组合，其特征在于：包括载板框架，载板框架中设有支撑结构，所述支撑结构可张紧设置在载板框架中；所述支撑结构上可拆卸放置有M×N个载板，其中M＞1，N＞1，所述载板中开设有n×m个开孔，所述开孔形成载板组合的承载区域，其中n＞1，m＞1。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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