[发明专利]垂直式探针装置的探针座有效
申请号: | 201611046634.6 | 申请日: | 2016-11-23 |
公开(公告)号: | CN107064575B | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 陈宗毅;陈世欣 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅;王燕秋 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种垂直式探针装置的探针座,包含有一下导板、一固定在所述下导板上的中导板、至少一固定在所述中导板上的上导板,以及至少一补强板,所述至少一补强板固定设置于所述中导板的至少一贯穿槽内,所述下导板具有位于所述中导板的贯穿槽下方的多个下探针孔,以供多个探针分别穿设于所述多个下探针孔且穿过所述中导板的贯穿槽,所述至少一上导板具有位于所述中导板的贯穿槽上方的多个上探针孔,以供所述多个探针分别穿设于所述多个上探针孔,所述至少一补强板设有多个中探针孔,以供所述多个探针分别穿设于所述多个中探针孔;由此,所述探针座具有良好的刚性,可避免弯曲变形的问题。 | ||
搜索关键词: | 垂直 探针 装置 | ||
【主权项】:
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