[发明专利]一种基体表面的VC/a-C:H纳米复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201611048879.2 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN106756816B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 姜欣;王永欣;鲁侠;李金龙;王立平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种VC/a‑C:H纳米复合涂层，由硬质相纳米晶VC与润滑相非晶a‑C:H组成，并且以a‑C:H为基质，纳米晶VC弥散于该基质中，不仅保持了传统VC硬质涂层高硬度、低磨损的特点，同时具有a‑C:H材料优异的自润滑特性，对在高磨损、高摩擦环境下作业的基体能起到良好的防护作用，具有很好的应用价值。本发明还提供采用采用多弧离子镀技术，以金属V为靶材，C2H2为反应气体，通过控制V靶电流和/或碳源C2H2的气体流量可调控涂层中V元素与C元素含量，进而调控涂层中VC相与a‑C:H相的含量。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米复合涂层 纳米晶 基质 多弧离子镀 自润滑特性 反应气体 防护作用 基体表面 气体流量 硬质涂层 低磨损 高磨损 高摩擦 高硬度 可调控 润滑相 硬质相 弥散 靶材 非晶 制备 体能 金属 调控 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基体表面的VC/a‑C:H纳米复合涂层，其特征是：由硬质相纳米晶VC与润滑相非晶a‑C:H组成，并且以a‑C:H为基质，纳米晶VC弥散于该基质中；采用多弧离子镀技术，以金属V为靶材，以高纯Ar为工作气体，过量C2H2为反应气体，对表面清洗处理后的基体施加负偏压，对V靶施加靶电流，在基体表面沉积该VC/a‑C:H复合涂层；所述的C2H2流量为50～200sccm，C2H2分压保持为0.1～0.4Pa，V靶电流为40～80A。
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